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詳細介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 供貨周期 | 現貨 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 綜合 |
美國Angstrom Sciences 圓形磁控管陰極
只要在結構中納入特定的設計標準，Angstrom Sciences 高功率射頻圓形磁控管就可以在研發和生產應用中成功實施。
Angstrom Sciences 高功率射頻圓形磁控管可直接冷卻，外徑為2英寸-8英寸。
因為射頻功率在高頻下工作，所以磁控濺射陰極的設計必須能夠控制這種功率。Angstrom Sciences的高功率射頻磁控管設計用于在目標表面均勻地傳遞射頻能量，同時提供低反射功率和射頻限制。
高功率射頻磁控管有圓形和線性兩種配置。
美國Angstrom Sciences 圓形磁控管陰極
間接冷卻磁控管在圓陰極的冷卻水和濺射靶材之間包含一個中間壁。該壁形成水真空密封，防止目標被“濺射"時可能發生的泄漏。
Angstrom Sciences 的 1“- 4" （25mm-100mm） 間接冷卻圓形磁控管包含一個螺紋靶夾和陽極屏蔽罩，可根據不同厚度的濺射靶材進行調整。螺紋設計上的目標更改既快速又簡單，不需要輔助工具或設備。
描述
此外，螺紋靶夾和陽極屏蔽層可形成一個緊湊的圓形磁控管頭。這使得 Angstrom Sciences 的圓形磁控管能夠安裝在狹窄的真空室中，并且與傳統磁控管的表面積相比，可以濺射更大的襯底。
間接冷卻磁控管推薦用于低功率應用，是研究和開發應用的理想工具。
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